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장비현황 및 사용신청

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관리자가 확인 후 연락드리겠습니다.
    • 장비명

      Alpha-step

    • 업체명

      KLA TENCOR instruments

    • 모델명

      a-step 250

    • 도입년도

      2004-07-01

    • 용도

      다양한 막의 두께 측정

      ▶ General Performance /Scan : 10mm or more
      -. Scan Speed 2um/sec to 200 um /sec or more
      -. Scan method :Bi -directional moving stylus
      -. Sampling rate : 50,100, 200, 1000Hz or more
      -. Vertical range : 262 um or more
      -. Resolution : 1A or more / Stylus Force : 1 ~ 15 mg or more
      -. isolation hood, Build in isolation
      -. Monitor : STD/Sample viewing : True
      ▶ Sample handing /151mm* 80mm stage moving or more
      -. Theta : 360도 / 21mm, maximum sample thickness or more

    • 장비상태

      가동

    CategoryMEASURE
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    • 장비명

      Hall Measurement

    • 업체명

      BIO-RAD

    • 모델명

      HL5500PC-M

    • 도입년도

      1994-10-01

    • 용도

      반도체 재료의 전기 전도도, 이동도, 캐리어 농도 측정 Si을 포한한 화합물 반도체의 Type(N형, P형)등을 찬정

      ▶ Magnet source range : 10nA - 20 mA
      ▶ Input voltage range : +/-6v
      ▶ Temperature range : 90k - 500k
      ▶ Cooling Type : LN2 Cryo

    • 장비상태

      가동

    CategoryMEASURE
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    • 장비명

      4-Point probe

    • 업체명

      창민테크

    • 모델명

      CMT-SR1060N

    • 도입년도

      2000-12-01

    • 용도

      반도체 박막 및 도체 박막의 비저항 측정 *웨이퍼 비저항 측정

      ▶ 면저항 측정사
      -. 측정방법 : 4 ~ Point probe의 접촉
      -. 측정범위 : 1m cm/ㅁ ~ 2m /ㅁ
      -. 측정포인트 : 중앙부 1Point
      ▶ 비저항 측정시
      -. 측정방법 : 4-point probe 의 접촉(두께 입력)
      -. 측정범위 : 10~200(VLSI 표준웨이퍼)
      -. 측정포인트 : 중앙부 1Point
      ▶ Four Point Probe(JANDDEL ENG.)
      -. Pin간 간격 : 20 ~ 50mis/pin 부하 : 10 ~ 250g/ pin
      -. pin 간 간격 : 12.5 ~ 500um
      ▶ 시료
      -. 원형 : 최대 8Inch /사각형 : 최대 140 *140mm2

    • 장비상태

      가동

    CategoryMEASURE
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