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사업소개

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기관건물

반도체 융합연구동 (CMOS Cleanroom)

건물 규모 : 지하 1층, 지상 2층
면적 개요 : 총 2,100㎡(크린룸 835㎡)
System sealing type의 3개층 크린룸 구축

반도체공정실 (IT대학3호관)

반도체공정실 : 크린룸(Class 100~1000) 총 430㎡
- Cleanroom Application : MEMS, Sensor & display

반도체소자 측정실 : Semi-Cleanroom 총 90㎡
- 주요 측정장비 : FE-SEM , AES, PL, AFM 등
보유장비
분류 PHOTO Doping CVD PVD Etch 측정/분석 Packaging Simulation
보유수 10종 11종 9종 5종 19종 19종 7종 5종 85종
크린룸 환경
ROOM CLASS(EA/ft3) 온도(℃) 습도(%) 조도(LUX) 면적(㎡)
YELLOW ROOM 100 22±1 45±3 600 66
CLEAN ROOM 1,000 22±1 45±3 500 185
SERVICE AREA 100,000 22±3 45±5 500 277
LOCKER ROOM 100,000 22±3 45±5 500 -
일반 ROOM N/S 22±3 - 300 -

1)CLEAN ROOM 기본규격은 미연방규격 U.S FEDERAL STAND
2)CLASS :0.3m이상

우)41566 대구광역시 북구 대학로 80 (산격동,경북대학교) 경북대학교 IT대학 3호관 203호 반도체융합기술연구원

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