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장비명 Alpha-step
업체명 KLA TENCOR instruments
모델명 a-step 250
도입년도 2004-07-01
용도 다양한 막의 두께 측정

▶ General Performance /Scan : 10mm or more
-. Scan Speed 2um/sec to 200 um /sec or more
-. Scan method :Bi -directional moving stylus
-. Sampling rate : 50,100, 200, 1000Hz or more
-. Vertical range : 262 um or more
-. Resolution : 1A or more / Stylus Force : 1 ~ 15 mg or more
-. isolation hood, Build in isolation
-. Monitor : STD/Sample viewing : True
▶ Sample handing /151mm* 80mm stage moving or more
-. Theta : 360도 / 21mm, maximum sample thickness or more
장비상태 가동

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