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사업소개

주요수행사업

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사업기간 2003. 6. 1 ~ 2008. 5. 31 (60개월)
(성과활용사업기간 : 2008. 6. 1 ~ 2013. 5. 31, 60개월)
지원부처 지식경제부, 대구광역시
총사업비 113억원
주요사업내용 - 반도체 연구시설 구축 및 지원
- 반도체융합연구동 구축(총 2,109㎡, 크린룸 836㎡),
Metal Sputter 외 반도체 장비 32점 구축, 대학연구시설 중
국내 최초 6인치 웨이퍼 0.6um CMOS 공정 setup 완료
- 6년간 9,000여건 반도체 관련 산학연 공정서비스 제공

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