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센서기술 연구센터

STRC Sensor Technology Research Center

센터개요
  • 기관명(센터장)

    센서기술연구센터(전자공학부 신장규 교수)
  • 설립년월

    1990년 4월(센서기술연구소, 초대소장 : 손병기 교수)
센터 목적
한국연구재단 우수연구센터(ERC) 및 국립대학 법정연구소로 센서기술 연구개발 및 우수센서 인력양성, 국가 센서기술력 향상
주요 임무
  • 주요사업

    [ 센서기술연구개발 및 우수센서 인력양성 사업 ]

    고도 화학기술의 열쇠이자, 자동화기술의 핵심 인 센서기술을 능률적으로 연구·개발하고 대학원 학생지도, 산업현장기술자
    연수교육 등을 통한 센서분야 우수인력양성사업

    [ 국가 센서기술진흥 및 산·학·연 협력 강화 사업 ]

    선진 센서 기술을 효율적으로 흡수, 이전하여 국가센서 기술력의 선진화에 기여하고, 센서분야의 산·학·연간, 학제간, 국제간,
    개인 또는 단체간 효율적 협동 체제를 구축하기 위한 사업
  • 센서연구분야

      - 센서(물리,화학,바이오), 센서시스템 및 응용분야
      - 산업계에 필요한 센서기술개발 ( 국내특허:99건, 국제특허:21건 )
주요연구분야
  • 물리센서

    압력센서, 가속도센서, IR센서, 방사선센서, 음향센서
  • 화학센서

    가스센서, 온/습도 센서, PH센서, 이온센서
  • 바이오센서

    시각센서, 미각센서, 후각센서, 단백질센서, DNA센서
  • 광센서

    적외선센서, 자외선센서, 광섬유센서
  • MEMS 및 엑츄에이터

    Micro Valve, Micro Pump
  • 센서시스템

    지능형센서시스템, 센서소자 집적화, 마이크로센서, CMOS센서
  • 센서재료 및 센서공정

    -
주요 연혁
연도 내용
1990년
  • 4월

    우수 연구센터로 정식 지정됨(한국과학재단 제 758호),
    경북대학교 센서기술연구소(Sensor Technology Research Center, STRC)

  • 10월

    병역특례업체로 선정(병무청 제 90-102호)

1991년
  • 6월

    미국 ESTU(Edison Sensor Technology Center)와 자매결연

1994년
  • 4월

    일본 EDRC(Electron Device Research Center)와 자매결연

1995년
  • 3월

    경북대학교 대학원 “센서공학과(석 박사과정)” 개설

  • 3월

    프랑스 Rouen INSA의 UCLA와 자매결연

  • 7월

    뉴질랜드 왕립 IRL과 자매결연

1996년
  • 7월

    영국 RGU와 자매결연

1999년
  • 6월

    한국 센서학회, 한국 MEMS그룹과 공동으로 'Transducers 05' 한국 유치

2000년
  • 9월

    일본 Toyohashi 공대와 학생교류 협정 체결

2001년
  • 2월

    “반도체 공정교육 및 지원센터 사업” 참여

2003년
  • 3월

    “디스플레이 전문인력양성사업” 참여

2005년
  • 3월

    경북대학교 대학원 “센서 및 디스플레이 공학과” 개설

  • 5월

    “반도체융합연구동” 개관

  • 6월

    "Transducers 05 SEOUL" 참가

2009년
  • 9월

    경북대학교 반도체공정교육및지원센서 및 디스플레이기술교육센터와 통합
    “반도체융합기술연구원” 설립

주요 성과
  • 3-D 집적을 이용한 IC 웨이퍼와 Quartz 웨이퍼 본딩

    SAW필터가 구현된 quartz 웨이퍼와 IC가 집적되어 있는 웨이퍼 두장을 정렬본딩함. CMP를 이용한 평탄기술 및 웨이퍼
    사이의 본딩을 위한 유기물 paste 공정조건 확립. 3차원으로 집적된 웨이퍼에 구현된 IC나 수동/능동 부품 사이의
    Interconnection 및 신호의 간섭현상 연구
  • 벌크 웨이퍼를 이용한 나노 CMOS 및 플래쉬 메모리 소자개발

    STI 공정을 이용하여 Fin을 만들어 40nm 바디연결형 FinFET 소자 세계최초 개발. 기존의 planar MOSFETs 공정을 그대로 활용하므로 제조공정의 양립성이 있고, 제조가 간단한 Fin형 이중/삼중 게이트 소자 개발. 개발된 벌크 FinFET을 이용하여 이중게이트 SONOS 플래쉬 메모리 세계최초 개발. 구현된 MOS 소자 및 플래쉬 메모리 구조 세계최초 특허 출원 및 등록
  • SiBiCMOS을 이용한 적외선 송수신회로 개발

    (주)타이오닉스와 공동으로 1.0 um SiBiCMOS 공정기술 개발 후 소자의 각종 파라미터 추출하여 타키오닉스사에 제공하였다. 추출된 파라미터를 사용하여 적외선 송수신 회로 개발 및 양산에 적용함
  • 반도체 압력센서를 이용한 하중센서 개발

    본 연구소에서 연구개발한 결과를 이용하여 (주)맨텍에서는 하중센서를 상품화하여 삼성전자의 가전기기 중의 마이크로 웨이브기기의 음식무게를 측정할 수 잇는 센서로 부착되어 시험 가동중에 있으며, 또한 (주)맨텍에서는 하중센서의 양산화 설비를 준비중에 있음
  • 화학작용제의 탐지기술 개발

    화학 작용제의 탐지 기술 개발에 대한 연구가 지속된다면, 전자코 기술의 개발과 함께 화학 작용제 탐지기술의 국제 경쟁력 확보는 물론 내수충족으로 외화절약, 군전력화에 크게 기여할 것으로 판단되며, 사업 초기 단계부터 (주)테크메이트와 (주)센서테크가 참여하여 사업화의 가속화를 위해 양산형 및 제품화 개발을 할 것임
  • 이미지용 바이오칩 시스템 개발

    광지시형 전위차법을 이용한 이미지센서 개발에 대한 연구를 수행하였다. 이는 기존의 바이오 물질 검출 이미지 센서에 비해 실시간으로 물질의 확산 속도, 분포상태 등을 검출 할 수 있으며 상품화 계획을 준비중이다.
  • 윤곽 및 움직임 검출 시각칩 기술 개발

    생체 망막에서 윤곽 검출에 관여하는 시세포, 수평세포 및 쌍극세포를 전자회로적으로 모델링하고 이를 CMOS 공정을 이용하여 52X52 화소수의 윤곽 검출 시각칩 설계 및 제작. 시각칩의 윤곽 정보 추출 능력을 확인하고, 이를 응용하여 물체의 움직임이 있을 경우 출력이 나타나고 물체의 움직임이 없는 경우 출력이 전혀 없는 움직임 검출 응용 시스템을 제작. 더 높은 화소수의 윤곽 및 움직임검출 시각칩을 개발 중에 있음
  • 스트랩타비딘-바이오틴 단백질 복합체 검출을 위한 PMOSFET형 바이오센서 제작

    스트랩타비딘(streptavidin)과 바이오틴(biotin)의 단백질 복합체 검출을 위해 0.5㎛ 표준 CMOS공정을 이용한 PMOSFET형 바이오센서를 제작하고 그 특성을 조사. SAM(self assembled mono-layer)의 구성요소 중 싸이올이 음전하를 띠고 있다는 것에 착안, 이를 게이트 바이어스로 이용하여 PMOSFET의 게이트 바이어스 변화에 따른 드레인 전류 변화량을 검출. 현재는 3-D 형태의 MOSFET형 바이오 센서를 제작중에 있음
  • GaN를 이용한 자외선 센서개발

    자외선에 의한 피부암 유발 등의 주요 환경변수를 감지 조기 경보할 수 잇는 체계를 확립하고 화염방사 등을 이용한 재난감지 시스템을 구축하여 종합적인 사회 안정망을 확보하기 위하여 GaN계의 반도체를 이용한 자외선 감지 센서를 연구개발하고 있음
  • AlGaN/GaN를 이용한 고속고주파 소자개발

    마이크로 및 밀리미터파 대역에서의 무선 통신 및 방송 시스템, 특히 위성을 이용하는 양방향 또는 단 방향 무선 통신 및 방송 시스템의 신호 처리를 위해서는 기존의 GaAs보다 우수한 성능의 고출력 RF-부품의 개발을 위해 AlGaN/GaN을 이용한 10Wattt급 이상의 소자 및 회로를 연구개발하고 있음
우)41566 대구광역시 북구 대학로 80 (산격동,경북대학교) 경북대학교 IT대학 3호관 203호 반도체융합기술연구원

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