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4-Point probe

posted May 24, 2017
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장비명 4-Point probe
업체명 창민테크
모델명 CMT-SR1060N
도입년도 2000-12-01
용도 반도체 박막 및 도체 박막의 비저항 측정 *웨이퍼 비저항 측정

▶ 면저항 측정사
-. 측정방법 : 4 ~ Point probe의 접촉
-. 측정범위 : 1m cm/ㅁ ~ 2m /ㅁ
-. 측정포인트 : 중앙부 1Point
▶ 비저항 측정시
-. 측정방법 : 4-point probe 의 접촉(두께 입력)
-. 측정범위 : 10~200(VLSI 표준웨이퍼)
-. 측정포인트 : 중앙부 1Point
▶ Four Point Probe(JANDDEL ENG.)
-. Pin간 간격 : 20 ~ 50mis/pin 부하 : 10 ~ 250g/ pin
-. pin 간 간격 : 12.5 ~ 500um
▶ 시료
-. 원형 : 최대 8Inch /사각형 : 최대 140 *140mm2
장비상태 가동

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