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Extra Form
장비명 OLED제조공정장비
업체명 ULTECH
모델명 OLED System
도입년도 2005-03-18
용도 차세대 Display OLED 관련 형광물질 증착장비

▶ Process
Organic chamber : organic EL Deposition
Metal chamber : Metal Deposition
Wafer size : 100mm * 100mm
Throuthput : 1substrate/1run
Control : Manual operaton
Thickness controller : crystal sensor (Organic 6set. Metal 2set)
▶ Chamber ultimate pressure
Loadlock chamber : ≤ 5 * 10-3 Torr
Organic chamber : ≤ 7 * 10-7 Torr
Metal chamber : ≤ 7 * 10-7 Torr
▶ Power
Organic chamber : 200W
Metal chamber : 2kW
▶ Source
Organic chamber : Effusion cell #1 : 8 pocket : 4CC, 6CC, 10CC
Metal chamber : Thermal source #2 : Tungsten baot * 2set
장비상태 가동

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